分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。磁悬浮分子泵,是半导体工业关键核心零部件之一,也是最高端的真空获得设备。此展品为首个中国制造的磁悬浮分子泵,一起来领略一下它的风采吧!
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